电子束蒸发源是利用热阴极发射电子在电场作用下成为高能量密度的电子束直接轰击到镀料上。动能转化为热能，使镀料加热汽化，完成蒸发镀膜。

　　电子束蒸发镀膜机的优点：

　　1、电子束加热比电阻加热具有更高的通量密度，可以蒸发高熔点材料，如W、Mo、Al2O3等，并可得到较高的蒸发速率;

　　2、被蒸发材料置于水冷铜坩埚内，真空蒸发镀膜机可避免坩埚材料污染，可制备高纯薄膜;

　　3、电子束蒸发粒子动能大，有利于获得致密、结合力好的膜层。

　　电子束蒸发镀膜机的缺点：

　　1、结构较复杂，设备价格较贵;

　　2、若蒸发源附近的蒸气密度高，电子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用，电子的通量将散失和轨道偏移;同时引起蒸气和残余气体的激发和电离，会影响膜层质量。

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