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| 真空镀膜设备镀膜误差鉴别方法 |
| 发布时间：2014-09-23 浏览：4152 次 |
真空镀膜设备光学监控是高精密镀膜的的首选监控方式之一，精确度的改进源于对光学厚度的监控，是采用间接测控。 特别适合于各种膜厚的镀膜监控包括非规整膜监控。 最直接的控制方法是石英晶体微量平衡法，保持蒸发速率。 只要将仪器与系统控制软件相连接，它就可以控制整个的镀膜过程。但温度较高时，它会变得对温度非常敏感。 在长时间的加热过程中，很难阻止传感器跌入这个敏感区域，从而对膜层造成重大误差。 推荐产品 |
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