从高真空及超高真空的角度来看，真空系统内的残余气体是一个必须引起注意的问题，残余气体往往造成真空系统内部的表面污染，从而达不到真空工艺所要求的结果

　　另外，对超高真空系统来说，残余气体的成分对系统的极限压力往往产生重要影响，如果抽气系统或抽气的工艺文汇选择不当，残余气体是影响其工作性能及寿命的重要因素。在实际工作中，不但要降低电真空器件中残余气体的量(真空度)，更要注意控制残余气体的质(气体成分)。

　　因为电真空器件中残余的O2、CO2、CO、H2O及碳氢化合物等有害气体，会引起电真空器件的阴极“中毒”、高压放电击穿等有害现象。

　　残余气体Ar可能会使电真空器件内产生离子轰击现象，从而损坏器件的阴极或其他部件。

　　残余气体的量多还会引起电子管的噪声增高。

　　真空系统中的残余气体成分是与真空系统的作业各类及工艺(如镀膜、金属熔炼等)和所用的抽气系统的类型有关，大致可分为以下几种情况：

　　在低真空下使用的真空装置中，残余气体主要为空气(O2 N2……);

　　在只用油封机械泵连续进行长时间抽气的真空装置中，当无泄漏时，残余气体中有：有机物及水蒸气

　　在用油扩散泵抽气的高真空装置中，残余气体中主要有：有机物和水蒸气。

　　使用溅射离子泵抽气系统，但不对真空系统进行特别的烘烤脱气处理时，则残余气体中水蒸气最多，另外还有H2，CH4，CO(或N2)、CO2等。

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