主要从真空产品概况和特点以及真空产品的区域性两方面来进行概述。其中招安传统划分方式真空设备又或划分为四大类即：1.真空获得设备、2.真空应用设备、3.真空测量仪表、4.真空配件。

　　一、真空产品概况和特点

　　按照传统的划分方式，真空设备可分为四大类：

　　1.真空获得设备

　　真空获得设备主要包括：旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵、蒸汽流真空泵、往复真空泵、液环真空泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、分子泵、低温泵、离子泵、干泵等等。其中又以旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵、蒸汽流真空泵、往复真空泵、液环真空泵这六种产品产量最大。

　　(1)旋片真空泵

　　按照我国产品的规格系列分类，旋片真空泵可以分为直联泵和皮带泵。直联泵由泵轴和电机直接联接而得名，其主要特点是体积小，转速高。目前国内市场该泵的规格有2XZ -0.25、2XZ -0. 5、2XZ -1、2XZ -2、2XZ -4、2XZ -8。由于直联泵转速较高，一般达到1 400转/分，因此对旋片材料、密封件等要求高，因此一般国内产品最大做到2XZ -8，再大规格的泵生产厂应客户的特殊要求安排生产。该泵主要用于空调、电冰箱、医疗器械、科学仪器等行业。

　　皮带泵也是通常所说的普速泵，转速一般在400～500转/分，体积比直联泵大出1/3左右。该泵的特点是运行可靠。目前产品规格有2X -0.5、2X -1、2X -2、2X -4、2X -8、2X -15、2X -30、2X -70。该泵除了可单独使用外，主要与其他泵组成机组用于机械、化工、冶金、包装、造纸等各行各业。

　　旋片真空泵还可以按照结构分为单级和双级，其主要区别在于所得到的极限压力不同。

　　(2)罗茨真空泵

　　罗茨真空泵主要分为普通型和带旁通阀型罗茨泵。普通型罗茨泵的规格型号为ZJ - 30、ZL -70、ZJ -150、ZJ - 300、ZJ - 600、ZJ - 1200、ZJ - 2000、ZJ - 2500、ZJ - 5000等。如用户有要求，可做到20 000 L/S(即ZJ - 20000)以上。带旁通阀型罗茨泵的规格型号为ZJP - 30、ZLP - 70、ZJP - 150、ZJP -300、ZJP - 600、ZJP - 1200、ZJP - 2000、ZJP - 2500、ZJP - 5000等。

　　带旁通阀罗茨泵由于在进出口之间安装了旁通阀，当进出口压差过大时，旁通阀自动打开，起到过载保护作用，因此该产品受到用户青睐。

　　此外，还有直排大气罗茨泵、气冷罗茨泵、水封罗茨泵等等。

　　除了直排大气罗茨泵，大多数罗茨泵不能单独使用，要与其他真空泵组成机组，才能正常工作。

　　该泵的特点是启动快，抽气量大，抽气时间短，在冶金、化工、造纸等行业很受欢迎。

　　(3)滑阀真空泵

　　滑阀真空泵可分为单级和双级两种类型。单级滑阀泵的极限压力一般为1 Pa左右，其规格型号有H-7、H-8、H -25、H - 70、H - 150、H - 300、H - 600等。双级滑阀泵的极限压力可达到0. 06 Pa，规格有2H -8、2H -15、2H -30、2H -70等。

　　滑阀真空泵可以单独使用，但多数情况下与其他真空泵组成机组而广泛用于冶金、化工、电工等行业。其特点是抽气量大，运行可靠，可抽出少量可凝性气体。

　　(4)油扩散泵

　　一迪莖散泵是蒸气流真空泵中的一种-Q该泵与以上三种泵的抽气机制不同。它是利用蒸气流作用产生压强差，使气体向蒸气流中扩散，再经压缩到泵的出口，由前级泵排除。

　　油扩散泵可分为两个系列，直筒型和凸腔型。直筒型的规格有K - 100、K -160、、K - 200、K- 300、K - 400、K - 600、K - 800、K - 1000、K - 1200等。凸腔型的规格有KT - 150、KT - 200、KT - 300、KT - 320、KT - 400、KT - 500、KT - 600、KT - 800、KT - 1000等。

　　由于凸腔泵的腔体外凸增大，因此抽速比直筒泵高出30%左右。油扩散泵与罗茨泵、旋片泵等组成机组，用于机械、冶金、薄膜等行业。其特点是极限压力高，可达到1 × 10-5 Pa，没有机械运动，可靠性好。

　　国产油扩散泵都存在一定的返油，易造成油污染，因此限定了它的使用条件。

　　(5)液环真空泵

　　水环真空泵是液环真空泵中的一种。它以水为介质达到真空目的。水环真空泵的型号规格很多，有SK单级水环泵系列，2SK双级水环泵系列，2BEI水环泵系列等等。

　　该泵的特点是抽气量大、无油污染，可抽出潮湿气体。可以单独使用，也可以组成机组。水环真空泵主要用于化工化学，电站、煤矿等行业。

　　目前国产水环泵逐渐向大型化发展。我国生产的世界上最大的800 m3/min水环泵目前已经用于煤矿的安全生产。

　　(6)分子泵和干泵

　　分子泵在国外是高真空领域的主泵，，主要用于半导体、薄膜工业等。2006年之后我国对分子泵的需求呈爆发式增长。

　　干泵是应半导体、薄膜等产业的迅速发展应运而生。

　　该泵可作为分子泵的前级泵，从而实现全无油高真空系统。干泵在国内刚刚起步。目前有爪型泵、叶片泵、往复活塞泵、螺杆泵等等。

　　(7)水喷射泵和水蒸气喷射泵

　　水喷射泵是一种以水作为动力及抽气介质的泵，分为单喷嘴和多喷嘴。

　　水蒸气喷射泵由泵体和冷凝器两部分组成，以水蒸气作为动力及抽气介质的泵，分单级和多级。水喷射泵和水蒸气喷射泵主要用于钢铁的炉外精炼。

　　还可用于制药、农药、食品、油脂、制革、环保、印染等行业。适用于蒸馏、浓缩、过滤、结晶、吸收、除氧、除臭、脱气、三废处理等等工艺。

　　(8)低温泵

　　低温泵是用低温抽气获得高真空或超高真空的方法，是随着低温技术发展而发展起来的。主要用于半导体，特别是大规模集成电路、表面物理和薄膜等领域。

　　国外产品80%以上用于半导体。我国低温泵的研制起始于20世纪70年代，到目前仍然没有批量生产的能力，且品种单一，没有形成系列。

　　2.真空应用设备

　　(l)真空镀膜设备

　　按照薄膜原理划分，可以分为溅射镀膜、离子镀膜、蒸发镀膜和化学气相沉积镀膜。按照使用对象可以分为光学镀膜、卷绕镀膜、装饰镀膜、太阳能集热管镀膜、刀具镀膜、建筑镀膜、导电镀膜等等。

　　a.蒸发镀膜设备

　　蒸发镀膜设备在我国所有镀膜设备中是最先开发成功的镀膜设备，20世纪50年代我国就已经研制成功，蒸发镀膜设备的品种繁多，有用于镀制光学薄膜的光学镀膜设备，主要用于光学器件，激光器件以及微电子器件等，还有采用蒸发镀膜原理制造的卷绕镀膜设备，用于装饰装潢、电子器件包装等各行各业。

　　b.溅射镀膜设备

　　离子靶材，使其被溅射出来沉积到基片上形成薄膜。溅射镀膜设备可镀制ITO导电膜、介质膜、半导体膜、金属膜、磁性膜、高温超导膜、单晶膜、装饰膜等多种薄膜，如用于电子行业大规模集成电路和光盘、磁盘薄膜的镀制。

　　用于建筑行业的幕墙玻璃薄膜，电子行业的电容器薄膜，航空航天器中的固体润滑膜，能源方面的太阳能电池，以及气体、包装、红外技术等多个行业。

　　c.离子镀膜设备

　　离子镀膜设备可分为电弧离子镀膜、射频放电离子镀膜、空心阴极离子镀等等，离子镀由其镀膜原理决定了其沉积速度快，镀层质密，膜层附着性好等特点。被广泛用于工具、模具等行业，可镀制金属膜、硬膜、仿金膜等等。

　　d.化学气相沉积设备

　　化学气相沉积设备是以化学反应的方法制膜，可用于镀制表面保护膜以及半导体和电子材料。

　　e.离子束刻蚀设备

　　刻蚀作为半导体工业中的超精细加工技术，随着大规模集成电路的集成度的增加而成为不可缺少的重要设备。

　　离子束刻蚀技术与其他化学腐蚀、等离子体溅射等技术相比，对加工材料没有选择性、可以进行超微细加工，能够刻蚀非常精细的沟槽，刻蚀的图形边缘清晰，精确度高。

　　离子束刻蚀设备可分为立式和卧式，国产设备真空系统主要以油扩散泵加水冷挡板为主，国外较多采用低温泵抽气系统。

　　(2)真空炉

　　真空炉在我国的发展起始于20世纪50年代末。第一台10公斤真空感应炉于1958年开始在沈阳研制，1960年通过鉴定。

　　目前我国生产的真空炉品种繁多，大致可分为冶金炉和热处理炉。

　　其中冶金炉有：真空电阻炉、真空烧结炉、真空电弧炉、真空感应炉、单晶炉以及真空钎焊设备等;

　　真空热处理炉包括：真空淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、辉光离子氮化炉等。

　　a.真空电阻炉

　　真空电阻炉是在真空条件下，利用电阻来加热工件或材料。主要用于活泼、难溶金属或某些磁性合金退火和真空除气。

　　电阻炉的种类有很多，按照不同的方式可分为立式、卧式、内热式、外热式等等。

　　b.真空烧结炉

　　真空烧结炉主要用于硬质合金、陶瓷材料、磁性材料、稀有难熔材料、金属粉末制品、光电元件等材料的烧结处理。

　　对于烧结处理的材料不同，真空烧结炉的种类有可达2 000℃以上的高温烧结炉和真空度较高的高真空烧结炉。

　　c.真空电弧炉

　　真空电弧炉是利用弧光放电产生的电弧使工件或材料执熔。可用于熔嫔会仝铜 法滁金屬铣锆和难溶金属。真空电弧炉的种类可以分为自耗炉、非自耗炉及凝壳炉等等。

　　d.真空感应炉

　　真空感应炉是利用电磁感应的方法将炉内的坩埚加热，在真空状态下进行金属和合金的熔炼。可对精密合金、磁性材料、活性金属和难溶金属进行熔炼。

　　e.真空钎焊设备

　　真空钎焊是指在真空条件下不需要焊剂进行钎焊的方法。主要用于不锈钢、高温合金、硬质合金，有色金属，特别是含铝、钛较高的耐热合金的钎焊，同时也适用于一些锆、铌等难溶金属的焊接。

　　真空钎焊对比于普通钎焊优点十分明显，如无污染、焊接变形小，焊缝质量高，没有焊剂对材料的腐蚀，没有气孔和夹渣，高效节能等等。其中的真空铝钎焊设备主要用于铝制板翅式热交换器、汽车散热器、空调蒸发器、冷凝器、雷达天线及电子通讯部件的铝钎焊。

　　真空钎焊设备的种类可以分为单室、双室或立式、卧式、无气淬、有气淬、冷壁、热壁等等。由于我国汽车工业的飞速发展，近几年对真空钎焊设备的需求出现了较大的增长。

　　f.真空热处理炉

　　真空热处理是指在真空条件下对金属材料进行的退火、回火、气淬、消除应力、时效、渗碳、氮化等处理。

　　在真空环境下对金属进行热处理有许多独特的优点，比如热处理后的零件表面十分光亮，同时无公害、安全、节能、增加材料的寿命、变形小，并减少了许多后续工作等等。

　　(3)其他真空应用设备

　　除了以上提到的应用比较广泛的真空应用设备-真空镀膜机、真空炉外，真空应用设备的种类还很多。

　　如：真空提纯、真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空浇注、真空运输、宇航模拟设备等等。

　　以及近些年兴起的真空食品包装、真空冷冻干燥、真空医疗设备、太阳能集热设备等等。

　　3.真空测量仪表

　　压力测量仪表--热偶真空计、电阻真空计、复合真空计等。

　　流量测量仪表--质量流量计、浮子流量计、滴管流量计等。

　　检漏仪器--氦质谱检漏仪、火花检漏仪、卤素检漏仪等。

　　4.真空配件

　　真空阀门--挡板阀、插板阀、翻板阀、电磁阀、压差阀、隔膜阀、球阀、微调阀等。

　　真空泵油--机械泵油、扩散泵油、硅油、真空脂等。

　　真空管路配件--波纹管、法兰、密封圈等。

　　二、真空产品的区域性

　　国内真空设备生产带有明显的区域性，一个地区聚起大大小小的生产同类产品的企业，久而久之即形成了产品区域性分类，且越来越分明。

　　例如我国的浙江地区主要以生产滑阀泵、罗茨泵和小型直联旋片泵为主，这/地区以生产上述三类产品为主，形成的企业群已从原来的十几家发展到四十家，并仍在继续壮大。

　　目前我国70%(包括上海)的滑阀泵和罗茨泵，80%的小型直联泵出自这一地区;山东淄博地区主要以水环真空泵为主，大大小小的企业有30家之多，是我国水环真空泵生产最为集中的产地，真空行业三家水环泵年产值过亿元的企业，有两家在这—地区。

　　辽沈地区集中了油扩散泵和各种真空炉的生产企业，据统计也达四五十家，其中国内油扩散泵产量80%出自这一地区。

　　真空镀膜设备的生产相对比较分散，但是值得注意的是广东地区虽然没有较大的生产企业，但是小企业也成聚集之势，此外我国的西南、西北和上海地区近几年镀膜设备发展势头非常看好，我国的较高水平镀膜机多出自这些地区。

　　真空炉的生产主要以辽宁和北京地区为主。辽宁地区是我国最早生产真空炉的地区，直到现在这两个地区也是我国真空炉最集中、最重要的生产基地。

　　以上就是365wm完美体育真空技术人员整理的关于真空行业主要设备的分类，希望能够帮到各位!

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