真空镀膜设备行业现状及发展趋势

一、真空镀膜设备行业现状我国真空工业经过50多年的发展，已形成了门类齐全结构完整的工业体系，肩负起对国民经济各领域进行技术装备的重任。多年来，行业企业通过技术引进、技术改造和合资合作等方式，使企业管理水平、技术水平和产品质量都有显著的提高。从产品产量、品种、规格和质量上，基本都能满足国民经济各部门和人民生活各方面的需求。

二、发展环境分析及需求预测
(1) 冶炼及冶金行业 我国炉外脱气精炼今后要增加50%以上（根据不同品种）。真空脱气机组的需求约为10～15亿<BR>元/年。其次是真空冶金炉，如真空感应炉、真空电弧炉和真空电阻炉等冶炼高级合金钢的基本设备。

(2) 真空热处理行业 我国真空热处理行业提出2010年基本完成以少氧化热处理为中心的技术改造，预计至少需要5000~8000 台先进设备。

(3) 电工行业 今后我国电机制造业的目标是上品种、上档次、降低能耗和物耗，扩大出口。

(4)电子信息行业 预测2010年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市场。总需求量为1000多亿块，达到1000亿以上的总金额。

(5) 食品工业 用于食品工业中的主要真空设备有真空冷冻干燥机、真空包装机、真空封罐机、真空浸渍和真空保鲜装置等。食品保鲜与加工设备，拥有巨大的市场潜力。

三、发展目标和发展重点
（1）发展目标 真空设备行业“十一·五”期间，将以年10% 的速度增长，到2010 年实现工业总产值（不变价）28亿元，工业总产值（现行价）26.4亿元、工业销售产值23亿元、产品销售收入26亿元、出口交货值1.5亿元，利润总额1.4亿元。

（2）发展重点 “十一·五”期间，真空行业的产业发展目标是：
①量大面广的真空获得产品80% 以上达到20 世<BR>纪初国际同类产品水平。国内市场占有率90% 以上。
②低温泵、干式泵形成系列化、规模化，国内市场占有率30%～40%。
③制备ITO膜的磁控溅射镀膜机争取国内市场占有率50%。
④各种真空热处理炉达到国内市场占有率95%。
⑤大型卷绕式镀膜机达到国内市场占有率70%～80%。
⑥各类真空检测仪器达到国内市场占有率70%～80%。
⑦各种真空阀门达到国内市场占有率85%～90%。为此，需重点研制以下产品：

真空获得产品
(1) 对量大面广的旋片真空泵，滑阀真空泵、罗茨真空泵的返油、漏油，振动和噪声要加强研究予以解决，以便使其综合水平接近国际同类产品先进水平。
(2) 研发宽量程、低返油率且能获超高真空的油扩散真空泵。使其泵功能扩大、满足用户需要。
(3) 研发出节能节水高效水蒸汽喷射泵，以满足冶金、石化等行业的要求。
(4) 研究开发磁流体轴承、陶瓷轴承在分子泵中的应用，提高分子泵的可靠性和使用寿命。

真空应用设备
(1) 对真空冶炼炉、真空热处理炉、真空浸渍设备和真空镀膜机等大型成套设备，研究完善向机电一体化方向发展。
(2) 研发出低温对流加热和等温淬火的高压气淬真空热处理炉，增加品种，满足用户的需求。

真空检测仪器
(1) 研究真空计向一体化、系统化和智能化发展的方向，为提高精度，满足自动化的需要。
(2) 研究提高氦质谱检漏仪的灵敏度，并向小型携带式（电池驱动）方向发展。
重点项目
(1) 大力开展低温泵、各种结构的干式真空泵的研究开发工作。并尽快形成系列化生产规模。以满足信息、生物、医药和食品等行业需要，减少进口。
(2) 进一步完善制备ITO膜的磁控溅射镀膜机的功能、提高综合水平满足市场需要。

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