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    镀膜设备的结构
    发布时间：2014-02-22　浏览：4463 次

     1  镀膜设备的结构：抽真空系统、电气系统、镀膜室



     

     

     

    2  镀膜设备的镀膜方式：离子镀、蒸发镀、溅射镀

     

     

     

     

     

     

     

    2.1、镀膜设备-蒸发镀：

     

     

     

     

     

     

    将气体的辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜结合起来,

     

     

     

    2.3、镀膜设备-溅射镀：

     

     

     

    　　 

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    2.2、镀膜设备-离子镀：

     
      
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