对真空镀膜机真空泵油来说必须保持每次使用时是清晰光亮的，不能出现浑浊或起泡沫的现象，当油静止沉淀时不会有乳白色物质，如果有则表明有外来物质进入，需要更换新油；

每周一次检查油位及油的颜色，如果油位低于最小标记，请加油，如果油位超过最大标记，放掉部分油，或者是由于冷凝物过多而稀释了真空镀膜机的真空泵油，这需要全部更换真空泵油，必要时请更换气镇阀；

每年需要更换一次排气过滤器，可用压缩空气清洗；

每隔半年需要清洗一次真空泵内的污垢或灰尘，对风扇轮、冷却翅片、通风格栅以及风扇引擎罩进行清洗，建议使用压缩空气清洗;真空泵油也要及时进行更换，每月对排气过滤器与进气过滤器进行检查一次。

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